Projekt VV 2014 (APVV)

Evidenčné číslo projektu: APVV-14–0076

Názov projektu: MEMS štruktúry na báze poddajných mechanizmov

Žiadateľ a príjemca pomoci: Slovenská technická univerzita v Bratislave,Fakulta elektrotechniky a informatiky

Meno zodpovedného zástupcu: prof., Ing. Redhammer Robert, PhD.

Začiatok riešenia projektu (MM/RR): 07/2015

Koniec riešenia projektu (MM/RR): 06/2019

Anotácia

Projekt je zameraný na analýzu, syntézu a konštrukciu elektromechanických snímačov na báze MEMS s možnosťou bezvodičového prenosu informácií o snímanej veličine. Riešenie projektu sa sústreďuje na skúmanie vhodnej topológie štruktúr najmä v súvislosti s návrhom požadovaných parametrov MEMS snímačov. Komplexný návrh zahrňuje paralelný návrh tak mechanickej ako aj elektrickej časti snímača. Pri mechanickom návrhu je dôraz kladený najmä na analýzu modelovania a linearizáciu vlastností MEMS štruktúry. V elektrickej oblasti sa riešenie projektu sústreďuje na analyzovanie vhodného elektromagnetického deja na prenos informácií a doplnenie snímača elektrickými prvkami tak, aby nedošlo k znehodnoteniu požadovaných mechanických vlastností. V elektrickej oblasti sa prihliada na mechanickú topológiu MEMS štruktúry s jej priamym využitím pre aplikovanie elektrických prvkov.

Spoluriešiteľské organizácie

Projekt bol naplánovaný a je schválený tak, že okrem žiadateľa sú partnermi projektu: Ústav informatiky Slovenská akadémia vied (SAV), Bratislava RMC s.r.o., Nová Dubnica

Stanovené ciele

a/ Návrh – MEMS (mikro-elektro-mechanické-štruktúry-snímače) Predmetom skúmania sú metódy návrhu a prostriedky pre analýzu, modelovanie a simuláciu vlastností MEMS. Riešenie je zamerané na 1D a 2D snímače mechanických veličín (sila, kontakt, tlak, teplota, posunutie / deformácia, … ).

b/ Prenos energie a signálov v MEMS (bezkontaktný / bezvodičový) Predmetom skúmania sú možnosti prenosu energií a signálov „z“ a „do“ MEMS štruktúry, pričom pozornosť sa sústredí najmä na princíp prenosu energie prostredníctvom el-magnetického poľa.

c/ Konštrukcia a overovanie parametrov MEMS Realizujú sa vybrané elektrické a mechanické prototypy MEMS snímačov mechanických veličín. Nakoľko sa jedná o skĺbenie vysokofrekvenčnej, mechanických systémov a prenosu údajov medzi MEMS štruktúrou a okolím, je potrebné aby sa zvládla nie len technológia a výroba MEMS štruktúry (rezanie laserom, nanášanie elektronických štruktúr, a p.) ale aj vytvorenie uzavretého prostredia, generujúceho elektromagnetickú vlnu potrebnú pre činnosť samotného MEMS.

Záver

Projekt je rozpracovaný, prebiehajú etapy: a/ Návrh MEMS, b/ Prenos energie a signálov v MEMS.